반도체 설비에서 주입되는 가스의 유량 단위로 sccm(standard cubic centimeters per minute)이 사용된다. 이를 이용해 질량 유량(mass flow rate, MFR)을 계산할 때, sccm 값에 가스의 몰 질량(molar mass, g/mol)을 곱하는 이유를 설명하겠다.1. sccm의 의미sccm은 표준 상태(0°C, 1 atm)에서의 부피 유량을 나타내는 단위이다. 즉, 1 sccm은 표준 조건에서 1분당 1 cm³의 기체가 흐른다는 의미다.하지만 질량 유량(MFR)은 부피 유량이 아니라 실제로 흐르는 가스의 질량(g/min)을 의미한다. 따라서 부피 유량(sccm)에서 질량 유량(g/min)으로 변환하기 위해 밀도(ρ) 또는 몰 질량(M)을 활용해야 한다.2. 질량 유..
